応用技術系
物質(物理)系
工学研究科
2026年
33. プラズマエッチングをやってみよう
実施日時
10/25(日) 10:00-17:00 （１日開催）
受講場所
対面, 吹田キャンパス
担当研究科
工学研究科
担当者
佐野泰久
最大受講人数
５人
【概要】
プラズマを用いたエッチングを体験します。簡単な座学の後、実際にプラズマ発生装置を用いて単結晶シリコンのプラズマエッチングを行い、エッチング量を測定します。プラズマを発生させるためのパラメータ（ガス圧、投入電力など）を変化させて実験を行い、これらのパラメータがエッチング量に与える影響について調査・考察を行います。