応用技術系
工学研究科
2024年
47. プラズマを用いて自分の名前をナノレベルで掘ってみよう
実施日時
11月24日（日）9:30-18:00（１日開催）
受講場所
対面, 吹田キャンパス
担当研究科
工学研究科
担当者
大久保雄司、孫 栄硯
最大受講人数
5 人
【概要】
物質の第4の状態と呼ばれるプラズマは、その高い反応性により、超精密加工技術に広く用いられています。当研究室で開発したプラズマCVM（Chemical Vaporization Machining）技術は世界最小サイズの水晶振動子を作製するために利用されており、その水晶振動子は皆さんのスマートフォンにも使われています。
プラズマCVMはどのような加工法なのかを理解してもらうために、今回はその最先端技術を用いてSiウエハに自分の名前をナノレベルで掘ってみましょう！
【備考】
山村研究室HP: http://www-nms.prec.eng.osaka-u.ac.jp
【講義の様子】